Influence of oxygen pressure, temperature and substrate/target distance on Cu2Ta4O12 thin films prepared by pulsed-laser deposition

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Metadaten
Author:	Andreas Heinrich, Bernd Renner GND, Robert Lux, Stefan G. Ebbinghaus ORCiD GND, Armin Reller GND, Bernd Stritzker GND
Frontdoor URL	https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/30422
Parent Title (English):	Thin Solid Films
Publisher:	Elsevier
Place of publication:	Amsterdam [u.a.]
Type:	Article
Language:	English
Year of first Publication:	2005
Publishing Institution:	Universität Augsburg
Release Date:	2017/07/21
Volume:	479
Issue:	1-2
First Page:	12
Last Page:	16
DOI:	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.11.103
Institutes:	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management / Professur für Chemie der Materialien und der Ressourcen
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV

Open Access