Formation of metal disilicide layers contacting ion beam-synthesized, buried 3C–SiC layers in silicon
| Author: | Jörg K. N. Lindner, S. Wenzel, Bernd StritzkerGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/123752 |
| ISSN: | 0169-4332OPAC |
| Parent Title (English): | Applied Surface Science |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2001 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2025/07/22 |
| Volume: | 184 |
| Issue: | 1-4 |
| First Page: | 299 |
| Last Page: | 306 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/s0169-4332(01)00680-8 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
